EPB Plus™

Zuverlässige Vakuumregelung im Hochvakuum.

Herzstück von EPB Plus™ Vakuumregelsystemen ist eine elektro-pneumatische Regelklappe, die mit innovativen Komponenten ausgestattet ist und so eine kontinuierliche und zuverlässige Vakuumregelung im Hochvakuumbereich zu garantieren. EPB Plus™ kann über das Prozessleitsystem oder ein von IBS geliefertes Regelsystem gesteuert werden. EPB Plus™ Regelklappen unterscheiden sich wesentlich von anderen am Markt verfügbaren:

  • Integrierte Vakuummessung für zuverlässige Vakuumregelung.
  • Integriertes Reinigungssystem für hohe Funktionssicherheit.
  • Minimaler Verkabelungsaufwand durch integrierte Vakuummessung.
  • Glasfaserverstärkte Schutzabdeckung schützt sämtliche Komponenten vor Verschmutzung.

Ihr Ansprechpartner

Gerd Ressmann

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